多晶硅生产工艺流程图,多晶硅的生产工艺流程及有关设备有哪些？
答案:1 悬赏:20 手机版
解决时间 2021-04-28 22:44
- 提问者网友：浪荡绅士
- 2021-04-28 15:46
多晶硅生产工艺流程图,多晶硅的生产工艺流程及有关设备有哪些？
最佳答案
- 五星知识达人网友：人间朝暮
- 2021-04-28 15:52
不晓得你们厂子采用的是什么工艺，不过多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。
主要反应包括：Si+HCl---SiHCl3+H2（三氯氢硅合成）;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl（热氢化）;SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si（还原）
涉及的东西太多，简单的几句话没法说完，建议你去海川化工论坛去看看，那里面有一个多晶硅技术专区
主要反应包括：Si+HCl---SiHCl3+H2（三氯氢硅合成）;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl（热氢化）;SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si（还原）
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