溅射过程加热 通氧气 有危险吗
答案:1 悬赏:30 手机版
解决时间 2021-12-03 22:55
- 提问者网友：我没有何以琛的痴心不悔
- 2021-12-03 03:17
溅射过程加热 通氧气 有危险吗
最佳答案
- 五星知识达人网友：酒安江南
- 2021-12-03 04:16
在辉光放电的气压范围内，通氧量越大，SiO2薄膜越接近化学计量比，薄膜硬度越高。再者，可以通过提高基片温度增加薄膜硬度。
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