MEMS是怎样的技术，哪些已经民用了

MEMS是怎样的技术，哪些已经民用了

MEMS传感器的应用 MEMS传感器目前主要应用在航空航天、汽车、消费电子等领域。 航空航天领域中的MEMS传感器主要有五种用途：① 提供有关航天器的工作 信息，起故障诊断的作用；②判断各分系统间工作的协调性，验证设计方案；③ 提供全系统自检所需信息，给指挥员决策提 供依据；④提供各分系统、整机内部检测参数，验证设计的正确性。⑤监测飞行器内外部的环境，为飞行员航天员提供所需的生存条件，保障正常飞行参数。 在汽车应用中，用到越来越多的MEMS传感器，包括安全气囊中的汽车安全气囊感应器、悬架控制、翻滚等。另外，还包括汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统，MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据，并用特定的代码发送出来。还有汽车导航中的GPS信号补偿、气缸内压力测量等等大多数汽车子系统中。