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什么是深次微米

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解决时间 2021-05-19 01:16
什么是深次微米
最佳答案

集成电路通常把0.8—0.35 m称为亚微米,0.25 m及其以下称为深亚微米,0.05 m及其以下称为纳米级.深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子


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