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光伏电池片刻蚀后为什么要臭氧氧化

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解决时间 2021-02-24 08:21
光伏电池片刻蚀后为什么要臭氧氧化
最佳答案
125单晶碱制绒电池片用的是干法刻蚀,就是有两个小工序---先是用等离子刻蚀机进行刻蚀然后再放到去PSG槽体里用药液浸泡,这里等离子刻蚀机稍微有点辐射,但对人体危害不大,估计要在里面干个三五年可能会有一点点影响,去PSG机器里面用的是酸
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