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什么叫靶材

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解决时间 2021-12-28 18:44
什么叫靶材
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问题一:什么叫靶材?电容触摸屏的靶材主要是什么? 电容触摸屏用的镀膜基板是用磁控溅射工艺制造的。
在磁控溅射制程中用到的镀膜材料称为靶材。
用作电容触摸屏的靶材一般有:InSn,Si,Ag,Al,Mo等问题二:靶材一般可以用来做什么??? 装饰膜,功能膜,光电膜等。如电子产品伐膜,模具钻头镀膜,光学器件镀膜,磁存储膜,外观装饰性膜,耐高温磨损(高温润滑膜)等等。太多了,说不过来。问题三:靶材的制作工艺 磁控溅射靶材1)磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),永久磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,如今,常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。2)磁控溅射靶材种类:金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材 ,氮化物陶瓷溅射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材 ,硅化物陶瓷溅射靶材 ,硫化物陶瓷溅射靶材 ,碲化物陶瓷溅射靶材 ,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),砷化铅靶材(PbAs),砷化铟靶材(InAs)。问题四:ito靶材是什么? ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用ITO靶材作为原材料,通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上。ITO薄膜具有导电性和透光性,厚度一般30纳米--200纳米。问题五:什么是溅射靶材? 完全可以做平板电容的电极和介质,溅射镀膜是很可控的薄膜,多以可以做高档电容问题六:靶材的发展 各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成 电路 (VLSI) 、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等 方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代 以来,溅射靶材及溅射技术的同步发展,极大地满足了各种新 型电子元器件发展的需求。例如,在半导体集成电路制造过程中,以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝 膜布线:在平面显示器产业中,各种显示技术 (如LCD、PDP 、OLED及FED等)的同步发展,有的已 经用于电脑及计算机的显示器制造;在信息存储产业中,磁性存储器的存储容量不断增加,新的磁光记录材料不断推陈出新 这些都对所需溅射靶材的质量提 出了越来越高的要求,需求数量也逐年增加。市场概况日本。就美国而言.约有50家中小规模的靶材制造商及经销商,其中最大的公司员工大约有几百人。不过为了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服务,全球主要靶材制造商通常会在客户所 在地设立分公司。近段时间 ,亚洲的一些国家和地区,如台湾.韩国和新加坡,就建立了越来越多制造薄膜元件或产品的工厂,如 IC、液晶显示器及光碟制造厂。对靶材厂商而言,这是相当重要的新兴市场。中国靶材产业发展也是与日俱增,不断的扩大自己的规模和生产技术,国内一线生产制造靶材的品牌已经达到国外最顶尖的技术水平。2010年,日本三菱公司就在中国台湾地区建立了光碟埘靶材的生产基地,可以满足台湾 50%的靶材需要。BCC(Business Communications Company ,商业咨询公司)最新的统计报告指出,全球靶材市场将以 8.8 %的年平均增长率(AAGR) 在今后的 5年内持续增 长, 估计销售额将从1999年的 7.2亿美元增加到2004年的11亿美元。靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料,主要使用在微电子,显示器,存储器 以及光学镀膜等产 业上,用以溅射用于尖端技术的各种薄膜材料。BCC的报告显示:全球的上述产业在1999年使用了2.88百万公斤靶材。换算为面积,则溅射了363百万平方米的薄膜。而若以单位靶材来计算,全 球在1999年则大约使用了37400单位的靶材。这里所要指出的是,随着应用产业的不同,靶材的形状与 大小也有所差异,其直径从15G m到 3m都有,而上述的统计资料,则是平均化后的结果。问题七:大家平时都在哪儿买靶材啊? 磁控靶材:北京泛德辰,合肥科晶,上海大恒PLD靶材:大部分自己烧(老板省钱),上面三家应该也做PLD靶材问题八:什么是ito靶材 ITO粉末和ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物,是ITO薄膜制备的重要原料,ITO薄膜由于对可见光透明和导电性良好的特性,广泛应用于液晶显示玻璃、幕墙玻璃和飞机、汽车上的防雾挡风玻璃等。 ITO靶材主要质量指标 化学成分In2O3 SnO2=9010(wt%) 纯度≥99.99% 相对密度~99% 密度均匀性偏差≤±0.3% 相结构单一立方In2O3相 失氧率<=3% 单片最大尺寸250mm x 200mm ,厚度可按用户要求任意。
ITO靶主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作,后者是制造平面液晶显示的主要材料,在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。靶材的主要性能指标为高纯度≥99.99%;高密度,相对密度≥92%
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这个问题我还想问问老师呢
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