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sem用于分析显微成分的附件有几种

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解决时间 2021-11-08 23:18
sem用于分析显微成分的附件有几种
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sem用于分析显微成分的附件有几种
Q :用SEM中的EDS做元素面扫描,其反映的是多少深度的信息?RE:分析深度取决于样品本性和选用的参数,不同的加速电压,穿透深度不一样,电压越高,X射线激发深度越深 ,通常5KV一个单位入射深度2-3个mirc. 电压强度越高入射深度越强. 轻元素比较深,重元素相对较浅。具体书上有公式计算。和加速电压,元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右,重元素可能在几百纳米。
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