真空泵分前级泵和主泵什么意思

真空泵分前级泵和主泵什么意思

主泵和前级泵的配合一般是真空机组。
前级泵可以理解为机械泵。本身可以使用，但抽气速率或者真空度满足不了使用要求，这种情况下我们加一个增压泵。
主泵可以理解为增压泵，用来提高机械泵的真空度跟抽气量。像罗茨泵，扩散泵，分子泵等。这些本身不能使用（压差太大）所以需要机械泵预抽，将真空室内抽成粗真空，然后主泵开始工作。

运行过程中主要的抽气量 极限真空度是靠主泵来实现。所以我们叫它为主泵，起主要作用的泵。
前级泵就是在主泵运行之前需要提前开的泵，就叫前级泵，主泵之前的泵。辅助主泵运行的泵。
不明白的话看签名继续问。
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是否您这边是用到分子泵和油扩散泵在你这里，
如果是的话，前级泵抽气，达到使得分子泵/扩散泵的启动压力。

在此应用中，前级泵一般为油泵/干泵，达到初真空环境，你所提到的主泵为分子泵/油扩散泵，可以达到高真空环境

主泵是能够达到你想要的真空度和抽速的，但是必须用前级泵进行粗抽。
这主要是因为主泵不能直排大气，或者只用主泵抽需要时间过长，前者居多。
如果只用主泵抽，就会出现吸排气口都是负压。