【光刻工艺】在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思
答案:2 悬赏:40 手机版
解决时间 2021-02-02 14:46
- 提问者网友：我是女神我骄傲
- 2021-02-01 16:08
【光刻工艺】在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思
最佳答案
- 五星知识达人网友：一叶十三刺
- 2021-02-01 17:36
【答案】 是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
全部回答
- 1楼网友：不如潦草
- 2021-02-01 18:16
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