半导体FIB是什么意思?
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解决时间 2021-01-30 03:59
- 提问者网友：兔牙战士
- 2021-01-30 00:25
在半导体行业里还说听见说做FIB，到底FIB是什么意思？
最佳答案
- 五星知识达人网友：独行浪子会拥风
- 2021-01-30 01:54
你好！
FIB 是英文 Focused Ion Beam的缩写，依字面翻译为聚焦离子束。简单的说就是将Ga(镓)元素离子化成Ga+， 然后利用电场加速，再利用静电透镜(electrostatic)聚焦，将高能量(高速)的Ga+打到指定的点。基本原理与SEM类似，仅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)，透镜型式(磁透镜 vs. 静电透镜)位置不同。
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FIB 是英文 Focused Ion Beam的缩写，依字面翻译为聚焦离子束。简单的说就是将Ga(镓)元素离子化成Ga+， 然后利用电场加速，再利用静电透镜(electrostatic)聚焦，将高能量(高速)的Ga+打到指定的点。基本原理与SEM类似，仅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)，透镜型式(磁透镜 vs. 静电透镜)位置不同。
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- 1楼网友：逐風
- 2021-01-30 02:40
用原子力显微镜看剖视图
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