扫描电镜的透镜系统和光学显微透镜系统的区别

扫描电镜的透镜系统和光学显微透镜系统的区别

背景原理：根据公式，σ=0.61λ/NA，分辨能力与“光源”的波长成负相关，波长越短，分辨能力越大，分辨率越小。电子波长远小于光波波长，因此电镜分辨率远小于光镜。“光源”不同，因此电镜用的是电学原理，光镜用的是光学原理光学显微镜：光镜原理应该比较容易理解，目镜+物镜，借助光的折射将被观察物体放大。扫描电镜：整体原理类似光镜，不过光源是“电子束”，电子枪发射的电子束经过加速、偏转线圈调整方向、聚焦，然后经过偏转线圈控制方向对选定区域进行扫描，激发特征信号，探测器接收信号形成图像等。还有一点区别：因为光可以大面积的直接折射成像，因此光学显微镜是瞬间成像的；而扫描电镜借助电子束只能一个点一个点的扫描堆积形成一个面，完成成像，因此电镜被称为扫描电镜，电镜成像是一个过程。扫描电镜的透镜系统和光学显微透镜系统的区别

显微镜或者电子显微镜利用光学镜片或者电磁场来偏转或者聚焦带能量的“入射粒子”，这些入射粒子束与样品作用后，会产生各种二次粒子信号。探测其二次粒子的信号，既可以分析材料的结构和各种特性。 显微镜是利用可见光子作为入射粒子，采用光学镜片来偏转光子传播方向或者聚焦光束。高倍显微镜，也是一种传统光学显微镜，根据瑞利判据，使用很大数值孔径的光学镜头，对微小物体进行高倍放大，一般比较接近可见光学的理论分辨率。除了理论分辨率限制以外，透镜系统的像差是制约成像分辨率的主要因素，由于像差的存在，高倍显微镜分辨率可以无限接近理论分辨率，却无法到达。高倍显微镜的透镜系统要求像差很小，需要苛刻的镜头加工精度，透镜系统组装精度。一般认为，随着精密度的提高，制造成本按照指数增长。 电子显微镜是利用电子作为入射粒子，通过电磁场来偏转电子或者聚焦电子束，电子光学和可见光学成像都符合高斯成像规律。电子显微镜主要分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜。透射电子显微镜的光路和光学显微镜类似，根据瑞利判据，成像光线的波长成为分辨率基本限制，而1kev能量的电子波波长约等于可见光波长的万分之一，而一般透射电镜使用的电子束能量都在几十Kev到几百Kev，目前最好的TEM分辨率比最好的光学显微镜提高了近万倍，达到0.08nm。扫描电镜成像和光学显微镜成像完全不同，电磁透镜仅对电子束斑直径进行缩放，不直接参与到样品细节的放大缩小，目前最好的扫描电镜分辨率在0.8nm，（注意扫描电镜和TEM对于分辨率的定义有些不同）。--------以上说了这么多也许对牛弹琴，光学显微镜和电子显微镜差别巨大，但凡有点常识的都知道。然而市场上有非常多的生意人把光学显微镜加上个CCD数码图像采集系统就叫做电子显微镜，显然会把概念弄混乱了。百度搜电子显微镜，花钱推广这个概念的就好几家子。