什么是激光干涉仪

什么是激光干涉仪

激光干涉仪，关键字是激光和干涉。
干涉（interference）是两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加从而形成新的波形的现象。对光源有一定的要求，而激光的三个特性能够较好的发生干涉。
所以就出现了用激光干涉实现某种应用的仪器。

一般性应用都是测面型，距离，速度等。

因为两束满足特定要求的激光能够产生干涉条纹，而两束光的相差导致干涉条纹的能量分布发生变化。通过采集干涉条纹的能量，反计算相差从而计算出被测物的局部面型变化，或者位置变化。

具体分类可分单频和双频激光干涉仪。常见的光路基本结构有傅里叶，法波等，基本上就是双光束干涉或者多光束干涉原理。以上为本人浅见。。

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
激光干涉仪是用以测量含有运动导轨如机床、三坐标、直线电机、自动化设备机器人等的运动精度，并可以对其运动导轨的精度误差进行补偿。