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集成电路无尘车间设计主要注意哪方面?

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解决时间 2021-12-18 11:41
集成电路无尘车间设计主要注意哪方面?
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集成电路无尘车间(喜格无尘车间设计、建设)是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。(所以喜格在设计时很注意洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制这几点)相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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