含硼量：<0.20ppba 含磷量：<0.90ppba 含碳量：<1.00ppba 金属含量：<30.00ppba 金属表面含量：<30.00ppba

含硼量：<0.20ppba 含磷量：<0.90ppba 含碳量：<1.00ppba 金属含量：<30.00ppba 金属表面含量：<30.00ppba

ppba(Part Per Billion of Atom)为十亿分之一原子比；
ppta(Part Per Trillion of Atom)为万亿分之一原子比；
pptw(Parts Per Trillion of Weight)为万亿分之一质量比；
体积浓度是用每立方米的大气中含有污染物的体积数（立方厘米）或（ml/m^3）来
表示，常用的表示方法是ppm(Parts Per Million)，即1ppm=1立方厘米/立方米=10^(-6)。除ppm外，还有ppb(Part Per Billion)和ppt(Parts Per Trillion)。
他们之间的关系是：
1ppm=10^(-6)=一百万分之一， 1ppb=10^(-9)=十亿分之一 ，
1ppt=10^(-12)=万亿分之一， 1ppm=10^3ppb=10^6ppt。