真空镀膜时如何控制膜层的厚度
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解决时间 2021-03-17 17:38
- 提问者网友：刺鸟
- 2021-03-16 18:41
真空镀膜时如何控制膜层的厚度
最佳答案
- 五星知识达人网友：七十二街
- 2021-03-16 20:20
时间-功率控制 根据 厚度=时间×速率,改变功率以保证V接近常数,再通过时间来控制厚度.
石英晶体监控 监测晶振片的振动频率 根据厚度与频率的变化关系,计算当前厚度来控制
光学监控 直接测量膜系的光学特性R/T
目测 肉眼观测反射颜色来控制膜层厚度,误差太大
石英晶体监控 监测晶振片的振动频率 根据厚度与频率的变化关系,计算当前厚度来控制
光学监控 直接测量膜系的光学特性R/T
目测 肉眼观测反射颜色来控制膜层厚度,误差太大
全部回答
- 1楼网友：蕴藏春秋
- 2021-03-16 20:51
一般是调节相关工艺以控制膜层沉积速率，然后通过控制时间来控制膜层的厚度。
- 2楼网友：话散在刀尖上
- 2021-03-16 20:38
精度要求高的话使用石英晶体测厚仪，可以直接测出膜层厚度，也可以跟电源设置自动膜厚控制，达到所需的厚度时自动停止。
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