热丝CVD制备金刚石薄膜前热丝为什么要碳化
答案:4 悬赏:10 手机版
解决时间 2021-04-04 06:19
- 提问者网友：骑士
- 2021-04-03 06:29
热丝CVD制备金刚石薄膜前热丝为什么要碳化
最佳答案
- 五星知识达人网友：低音帝王
- 2021-04-03 06:49
1，碳化后可以减少高温下钨丝升华出的钨对薄膜污染
2，碳化后的钨丝不易变形，便于产生稳定的温度场。
2，碳化后的钨丝不易变形，便于产生稳定的温度场。
全部回答
- 1楼网友：猎心人
- 2021-04-03 09:38
有两点：①碳化后丝更为稳定，不会因为丝的缘故导致CH4浓度变化较厉害，便于控制CH4反应浓度，②碳化后丝的电子发射能力增强，有利于提高电子密度
- 2楼网友：洎扰庸人
- 2021-04-03 08:49
提高金刚石膜的质量（纯度），延长热丝的寿命
- 3楼网友：狂恋
- 2021-04-03 07:28
18、高自锐性金属结合剂金刚石制品 19、光子-热丝化学气相沉积生长大面积金刚87、通过CVD制备的单晶金刚石 88、微波法低温沉积细晶粒金刚石薄膜 89、微粒
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