直流溅射法制备薄膜时，膜厚的均匀性如何保证
答案:1 悬赏:0 手机版
解决时间 2021-02-22 12:20
- 提问者网友：溺爱和你
- 2021-02-22 03:54
直流溅射法制备薄膜时，膜厚的均匀性如何保证
最佳答案
- 五星知识达人网友：一袍清酒付
- 2021-02-22 05:20
影响膜厚均匀性有2个关键：气场和磁场。还有一个关键的问题：靶材的均匀性。具体溅射方式和基体的状态楼主说明白点我们在讨论。
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