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不知道国内外有哪个厂家有等离子体发射监控系统(Plasma Emission Monitoring,PEM)的?

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解决时间 2021-03-19 02:22
不知道国内外有哪个厂家有等离子体发射监控系统(Plasma Emission Monitoring,PEM)的? 我是做磁控溅射的,想用它监测靶金属粒子特征光谱,根据特征谱线强度变化,判断溅射状态的变化,并及时调整反应气体流量,实现迅速、精确、调整靶溅射状态的目的。我邮箱aaron5235@126.com
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这个很不好搞
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支持一下感觉挺不错的
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