在薄膜制备中用磁控溅射方法时通入Ar气用的sccm单位，该单位是什么意思？怎么定义的？
答案:2 悬赏:40 手机版
解决时间 2021-02-19 21:04
- 提问者网友：喧嚣尘世
- 2021-02-19 08:24
在薄膜制备中用磁控溅射方法时通入Ar气用的sccm单位，该单位是什么意思？怎么定义的？
最佳答案
- 五星知识达人网友：上分大魔王
- 2021-02-19 08:40
sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute),即ml/min或者cm3/min(毫升每分钟），例如通入10sccm的Ar气，表示每分钟通入10mlAr气。
全部回答
- 1楼网友：持酒劝斜阳
- 2021-02-19 09:36
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