FTIR分析仪是什么

FTIR分析仪是什么

FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪　　(Fourier Transform infrared spectroscopy)
用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。
目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。·
发展中需进一步Setup者有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，STD的建立为整个量测之重点，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜。
目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可有计算机完成。
用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤：
1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图;
2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光；
3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。
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