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line/space是什么意思

答案:2  悬赏:20  手机版
解决时间 2021-02-21 16:06
optical lithography(光学平板刻法)中line/space是什么意思啊
求高人指点!!多谢!

是专业名词,平板印刷技术中的
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在印刷电子,IC工艺以及微纳制造工艺中,应该是特征尺寸,线宽以及光栅间距的意思。
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在印刷电子,ic工艺以及微纳制造工艺中,应该是特征尺寸,线宽以及光栅间距的意思。
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