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大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计?

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解决时间 2021-10-22 08:10
大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计?
最佳答案
确实和小尺寸的玻璃镀膜膜系设计方法是一样的,但是,大面积玻璃磁控溅射必须确保溅射速率沿玻璃横向均匀分布。
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