硅单晶电阻率测定方法如何提高测试的精确度?为什么需要对厚度进行修正?（四探针法）
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解决时间 2021-02-18 02:40
- 提问者网友：我们很暧昧
- 2021-02-17 07:34
硅单晶电阻率测定方法如何提高测试的精确度?为什么需要对厚度进行修正?（四探针法）
最佳答案
- 五星知识达人网友：煞尾
- 2021-02-17 09:12
4探针法需要探针与Si的接触足够好,探针表面不能氧化.测试电流不能引起Si内部发热,否则电阻率会大幅度变化.一般掺杂硅单晶的掺杂层厚度都是一个等效值,在掺杂层内,掺杂浓度并不均匀,导致电阻率在纵向不均匀,因此必须修正厚度,得到等效厚度值.
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- 1楼网友：蓝房子
- 2021-02-17 10:48
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