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如何改善ITO镀膜的均匀性

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解决时间 2021-02-15 23:11
如何改善ITO镀膜的均匀性
最佳答案
影响ITO镀膜的均匀性的因素较多,其中最主要的是ITO靶的质量,要求ITO靶材密度高、成分均匀性好、相结构为单一In2O3相、晶粒尺寸均匀等。建议换ITO靶材试试。
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你哪的?、
温度,气体,磁铁 就这些 自己慢慢调
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