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弱弱问一句,磁控溅射能喷碳吗

答案:1  悬赏:70  手机版
解决时间 2021-04-03 15:28
弱弱问一句,磁控溅射能喷碳吗
最佳答案
可以的,磁控溅射是在等离子体情况下,离子向阴极靶材撞击,溅射出原子、原子团等沉积到基材上的过程,用金属作为靶材的基底,用碳作为靶材,可以溅射。不过溅射后真空腔室等不好清理而已。
用直流脉冲溅射,中频溅射、射频溅射都可以实现,按照以上排名溅射速率增加。
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