京运通JRDL-800单晶炉每次等径到同一埚位时液面抖动,持续一小时后恢复正常
答案:3 悬赏:20 手机版
解决时间 2021-01-25 11:44
- 提问者网友:末路
- 2021-01-24 17:06
埚升机构和埚转机构已更换,热场也已更换,故障现象还是没消除。
最佳答案
- 五星知识达人网友:长青诗
- 2021-01-24 17:20
换下传动应该是没用的,下次要到这个锅位的时候 把晶转降下2转速,同时锅转加个0.5转,八成应该问题解决了。。。这种情况 震源一般都是来自设备的内部。。。
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- 1楼网友:深街酒徒
- 2021-01-24 19:20
我建议你调一下坩埚金属轴与炉底板的对中,
- 2楼网友:一把行者刀
- 2021-01-24 18:04
晶棒直径与坩埚直径之比
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