真空溅射镀膜机镀铝靶我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率

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解决时间 2021-07-30 06:27

提问者网友：欺烟
2021-07-29 21:45

真空溅射镀膜机镀铝靶
我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率加不上去,从小到大逐步调节功率,每次溅射正常,到要求值后溅射正常.三天之后换其他材料靶.今天又换上会铝靶,绝缘电阻为0.3兆欧,功率加不上去,从小到达逐步调节功率,0.1KW正常,电压275v;0.5KW功率上不去,只有0.07KW,电压不到100v,这是为何?另靶的绝缘最少要有多少?
(靶是磁控靶）

最佳答案

五星知识达人网友：北城痞子
2021-07-29 22:45

主要原因不是功率,而是铝靶在空气暴露时（即使充气的一瞬间）迅速被氧化,氧化铝的溅射产额非常低,需要将这层氧化铝清除完毕后,才到溅射纯铝的状态,电压才会正常,这个过程就是常说的洗靶.纯铝氧化速度很快,如换做其他不易氧化的靶材,洗靶过程会大大缩短.

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