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一级真空泵真空达到启动二级罗茨泵后真空变化不明显怎么办

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解决时间 2021-12-17 22:09
一级真空泵真空达到启动二级罗茨泵后真空变化不明显怎么办
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罗茨泵属于增压泵,低真高到500PA时,开启罗次泵,应该很快进入-2,变化不明显的话,我觉得从胶圈方面查找下原因,泵基本没事的.
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我觉得可能是罗茨泵漏气导致的,需要大修罗茨泵。
罗茨泵可能会有漏气
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