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就采用能谱检测结果而言,请问扫描电镜和电子探针有什么差别?电子探针元素面扫是能谱还是波谱分析的?

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解决时间 2021-11-19 12:57
就采用能谱检测结果而言,请问扫描电镜和电子探针有什么差别?电子探针元素面扫是能谱还是波谱分析的?
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扫描电镜束流小,电子探针能谱分析结果比扫描电镜能谱精确一个数量级,电子探针元素面扫描可以用能谱,也可以用波谱,一般对轻元素(C以下),波谱较准确,相对来说波谱扫描时间较长,一般定性及半定量基本用能谱。
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波谱可以进行准确的定量分析。线扫描和免扫描的话波谱比能谱精确。扫描电镜精神大,束流小,做形貌像的话,能满足的放大倍数较大
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