什么是薄膜中晶粒择优取向,如何用XRD测试出来?是衍射最高峰所对应的晶面么?
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解决时间 2021-03-20 19:03
- 提问者网友:爱了却不能说
- 2021-03-20 02:11
什么是薄膜中晶粒择优取向,如何用XRD测试出来?是衍射最高峰所对应的晶面么?
最佳答案
- 五星知识达人网友:佘樂
- 2021-03-20 03:33
一般情况下,形成的晶粒晶轴在各个方向上分布的机会是均等的,在做XRD时,不同的晶面间距形成不同的衍射峰,因为晶面上原子分布、不同原子衍射能力存在差异等原因,各个衍射峰强度存在差异。
如果存在择优取向,作出来的曲线和标准曲线有差异,某些峰会变强,某些峰会变弱。
不一定是最高峰所对应的晶面。
如果存在择优取向,作出来的曲线和标准曲线有差异,某些峰会变强,某些峰会变弱。
不一定是最高峰所对应的晶面。
全部回答
- 1楼网友:第幾種人
- 2021-03-20 04:49
晶粒的择优取向是针对多晶薄膜来说的。衍射峰的强度反映了不同取向的晶粒在薄膜中的比重。强度越高的,通常表明这个取向的晶粒占大多数,当然也要结合粉末衍射的强度比来看就更准确了。
关于测试,通常用XRD theta/2theta 联动扫描,对于外延薄膜,先找到衬底的衍射峰,然后依次优化PSI, PHi和2 theta角。之后做大范围的扫描,通常就可以找到则优取向了。但有时外延层和衬底之间会有不同的PSI和PHI角,这个时候就需要再优化外延层的PSI 和PHI,然后再扫描。
关于测试,通常用XRD theta/2theta 联动扫描,对于外延薄膜,先找到衬底的衍射峰,然后依次优化PSI, PHi和2 theta角。之后做大范围的扫描,通常就可以找到则优取向了。但有时外延层和衬底之间会有不同的PSI和PHI角,这个时候就需要再优化外延层的PSI 和PHI,然后再扫描。
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