MEMS加工工艺 介绍
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解决时间 2021-03-21 21:38
- 提问者网友：爱了却不能说
- 2021-03-21 04:23
MEMS加工工艺 介绍
最佳答案
- 五星知识达人网友：一袍清酒付
- 2021-03-21 04:48
MEMS----Micro-Electro-Mechanical Systems(美国)微机电系统，也称为微机械（日本）或微系统（欧洲）。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS概述
特点
微型化：体积小、重量轻、耗能低、惯性小
以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传
导率接近钼和钨
批量生产：降低生产成本
集成化
多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科
MEMS概述
特点
微型化：体积小、重量轻、耗能低、惯性小
以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传
导率接近钼和钨
批量生产：降低生产成本
集成化
多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科
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- 1楼网友：玩家
- 2021-03-21 05:38
光刻
腐蚀
薄膜
扩散
外延
键合
等等等等
这是很深的一门学问，足够研究一辈子
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薄膜
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外延
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等等等等
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