哪里有光学轮廓仪（干涉显微镜），用于测量表面形貌、轮廓或者三维粗糙度的，最好是taylor hobsion 的 CCI

最好是CCI lite

taylor hobsion的大多是接触式的，操作麻烦。

业界大量使用的是ZYGO的非接触式测量仪器。
精度很高的，表面轮廓，波前差都可以测得。

美国aep公司NanoMap系列产品，白光干涉显微镜具有相移模式及白光模式分别适合测量150nm以下及以上量程的样品。关键还要看你要测什么样的样品，是否适合使用光学模式测试。 再看看别人怎么说的。