集成电路为什么用到PVD工艺
答案:1 悬赏:50 手机版
解决时间 2021-11-20 12:23
- 提问者网友:饥饿走向夜
- 2021-11-20 07:33
集成电路为什么用到PVD工艺
最佳答案
- 五星知识达人网友:山有枢
- 2021-11-20 07:50
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术,是在真空条件下,采用物理方法,将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。
在集成电路制造过程中,用PVD技术,把一层薄薄的金属沉积到半导体材料上,再通过刻蚀技术留下导线。
在集成电路制造过程中,用PVD技术,把一层薄薄的金属沉积到半导体材料上,再通过刻蚀技术留下导线。
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