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有关单晶硅的埚跟比和液位高度的计算

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解决时间 2021-03-18 21:39
有关单晶硅的埚跟比和液位高度的计算
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埚跟比就是保持液位线。这样能够有更好的热场来成晶,主要是硅溶液的密度和固体硅的密度。再加上单晶圆棒的直径和干埚的直径来算的。坩埚上升的高度内的硅溶液质量等于成晶的硅棒的质量。大概是这么个算法。
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