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六甲基二硅氮烷与水或醇反应原理

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解决时间 2021-03-29 07:33
六甲基二硅氮烷与水或醇反应原理
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甲基二硅氮烷与水或醇反应被称为HMDS,实际上就是水解反应。
主要用在集成电路的制造中,增加硅片和光刻胶之间的附着力。和硅表面的二氧化硅反应,除去二氧化硅和水反应的羟基,使其变为疏水性,而光刻胶是疏水的,从而增加了附着力。
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被称为HMDS。主要用在集成电路的制造中。增加硅片和光刻胶之间的附着力。和硅表面的二氧化硅反应,除去二氧化硅和水反应的羟基,使其变为疏水性,而光刻胶是疏水的,这样就增加了附着力!
水解反应,六甲基二硅氮烷中的Si-N键断裂,与水电离的羟基反应变为Si-OH,得到三甲基硅醇,氨气等。实质是水解反应。
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