真空镀膜 工作流程

scs-850z型真空磁控溅射镀膜机的工作流程是怎么样的??能详细说明下么？？尤其是装工件和启动抽真空泵的顺序是怎么样的？

1。装工件。
2。手动开启转架至少转动一周以上，看是否有刮蹭，如果转动正常，关闭真空门。
3。检查门关到位信号，开启V1阀，启动粗抽泵（机械泵和罗茨泵），开始抽真空，当真空度达到4Pa，关闭V1阀，开启V2和V3阀，使用分子泵（扩散泵）抽真空，此时机械泵、罗茨泵和前级泵共同为分子泵（扩散泵）的前级。
4。当真空度达到镀膜真空后，开始镀膜。