pvd与cvd在所得薄膜形貌上有何区别
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解决时间 2021-02-26 06:30
- 提问者网友:書生途
- 2021-02-25 07:30
pvd与cvd在所得薄膜形貌上有何区别
最佳答案
- 五星知识达人网友:过活
- 2021-02-25 08:18
PVD与CVD的对比
CVD定义:
通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程
CVD技术特点:
具有淀积温度低、薄膜成分和厚度易于控制、均匀性和重复性好、台阶覆盖优良、适用范围广、设备简单等一系列优点
CVD方法几乎可以淀积集成电路工艺中所需要的各种薄膜,例如掺杂或不掺杂的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金属(钨、钼)等
CVD定义:
通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程
CVD技术特点:
具有淀积温度低、薄膜成分和厚度易于控制、均匀性和重复性好、台阶覆盖优良、适用范围广、设备简单等一系列优点
CVD方法几乎可以淀积集成电路工艺中所需要的各种薄膜,例如掺杂或不掺杂的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金属(钨、钼)等
全部回答
- 1楼网友:蓝房子
- 2021-02-25 09:11
用什么的都有,因为oled的封装很重要,研发的相关技术非常多,五花八门用什么的都有。而且一般可能都是复合封装,比如有机无机叠层等,所以也可能几种成膜或沉积技术都用,也不限于cvd和pvd。
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