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真空镀膜机有四个泵,他们是怎样工作的

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解决时间 2021-04-12 05:52
真空镀膜机有四个泵,他们是怎样工作的
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维持泵,机械泵,卢氏泵,扩散泵分别作用是:待机,粗抽(低真空),中抽(中真空),精抽(高真空)
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