什么显微镜可以测量微结构的高度或深度？
答案:2 悬赏:70 手机版
解决时间 2021-04-02 20:30
- 提问者网友：献世佛
- 2021-04-02 04:54
如题，我用光刻做了好多微结构，想知道用什么样的显微镜可以测出他的高度和深度，共焦显微镜是不是可以？
最佳答案
- 五星知识达人网友：迷人又混蛋
- 2020-06-20 07:25
干涉显微镜6JA或光切法显微镜
干涉显微镜利用光波的干涉原理和显微镜非接触检测特点对试样表面上高度极微小差别进行测量。
适用于测量零件表面刻线，镀层深度等，配以特殊的附件还能测量颗粒加工纹路表面，低反射率的工件表面，对大型工件作表面测量时，可将仪器倒置在工件上。
干涉显微镜利用光波的干涉原理和显微镜非接触检测特点对试样表面上高度极微小差别进行测量。
适用于测量零件表面刻线，镀层深度等，配以特殊的附件还能测量颗粒加工纹路表面，低反射率的工件表面，对大型工件作表面测量时，可将仪器倒置在工件上。
全部回答
- 1楼网友：七十二街
- 2019-04-07 01:04
期待看到有用的回答！
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