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什么化学品对Ti+ Cu 的反应大?

答案:1  悬赏:10  手机版
解决时间 2021-05-05 01:11
我们公司生产封装基板而我们工序的SPUTTER机喷溅钛和铜,久而久之沉积在基片架上的钛铜达到一定的厚度之后会影响设备的稳定性,所以要定时去清洁去除钛铜。我们也做过实验用工业级HNO3(硝酸)去腐蚀,但是他对Cu的反应很大对Ti反应微乎其微。所以請各位高手告知,谢谢!!
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用HF(氢氟酸)
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