场发射扫描电镜分辨率高低由什么决定

场发射扫描电镜分辨率高低由什么决定

利用透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy TEM,台译穿透式电子显微镜）可以直接获得一个样本的投影.在这种显微镜中电子穿过样本,因此样本必须非常薄.组成样本的原子的原子量、加速电子的电压和所希望获得的分辨率决定样本的厚度.样本的厚度可以从数纳米到数微米不等.原子量越高、电压越低,样本就必须越薄.
通过改变物镜的透镜系统人们可以直接放大物镜的焦点的像.由此人们可以获得电子衍射像.使用这个像可以分析样本的晶体结构.
场发射扫描电子显微镜是一种比较简单的电子显微镜,它观察样本上因强电场导致的场发射所散发出来的电子.
假如观察的是透过样本的扫描电子的话,那么这种显微镜被称为扫描透射电子显微镜

不管是钨灯丝、lab6还是场发射的扫描电镜，电子束入射样品后，特征x射线都有1um左右的激发区域，所以能谱的分辨率和二次电子的分辨率相差很大。 经验来看，1nm的二次电子分辨率，eds分辨率可能在20-50nm左右，二次电子能拍出几十纳米的颗粒轮廓，eds面扫只能出来几百纳米的颗粒轮廓。